与温控技术、原位力学技术等相关的产品，如晶圆加热系统、快速退火炉、高低温试验箱等，可为客户提供个性化定制。
果果仪器RTP600快速退火炉专为半导体高温处理设计，支持500℃~1000℃范围内的氧化/扩散/快速退火工艺，采用双层21×1kW高功率灯管，实现150℃/s极速升温控制，通过水冷铝质外壳、石英内腔确保温度均匀性，兼容2~6英寸晶圆片，结合精密气体控制提供高效解决方案。
• 控温速率：最大升温速率：150℃/s
• 载样台：2~6英寸圆形衬底石英载片台
• 腔室可升级真空
• 高精度控温
• 专业温控软件
• 支持定制
为科研保驾护航！
